電子束蒸發鍍膜機 E-Beam
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            電子束蒸發鍍膜機 E-Beam

            電子束蒸發鍍膜 E-Beam
            上海伯東代理 AdNaNo 鎧柏科技 E-Beam 電子束蒸發鍍膜機 ( 電子蒸鍍 ), 最大真空度可達 5E-10 torr, 提供客制化服務.

            電子束蒸發

             推薦設備型號: EBS-150
             標準的設計, 左邊 load lock 腔體, 包含氧化和蝕刻過程; 
             右邊沉積腔內含一個電子束, 適用于約瑟夫森結,
             特性:
             真空度 5E-8 torr
             最大 8inch 樣品
             基本可傾斜 / 旋轉
             可選 IBAD
             全自動
             腔室水冷

             

            電子束蒸發

             型號 EBS-150 UHV
             特性:

             真空度 5E-10 torr
             最大 6inch 樣品
             基本可傾斜 / 旋轉
             可選 IBAD
             全自動
             腔室水冷

             

            電子束蒸發

             型號 EBS-300 Dual
             特性:

             真空度 5E-7 torr
             行星機械手
             雙 E-gun
             全自動加工
             軟件控制


            E-Beam 電子束蒸發適用于
            Lift-off 工藝
            HMET, PHMET 晶體管
            Ohmic and Schottky contacts on GaN 氮化鎵基片歐姆和肖特基接觸
            IR waveguides 紅外波導
            Thermal barriers 熱障
            Magnetic materials for microwave applications 磁性材料微波應用
            MEMS 封裝
            超導隧道結


            上海伯東代理 AdNaNo 鎧柏科技制造的超導結制備用電子束蒸鍍設備, 鎧柏鍍膜機專精于金屬及氧化物薄膜的制備, 可用于超導量子實驗室制備超導結 ( 量子比特和約瑟夫森結 ) 和量子器件, 可以制備大面積, 高穩定性和可重復性超導結. AdNaNo 電子束蒸發設備提供客制化服務, 滿足各類不同真空系統整合需求!

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