射頻離子源 RFICP 380
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            射頻離子源 RFICP 380

            大口徑射頻離子源 RFICP 380
            上海伯東美國 KRI 大口徑射頻離子源 RFICP 380, 3層柵極設計, 柵極口徑 38cm, 提供離子動能 100-1200eV 寬束離子束, 套裝包含離子源本體和電源控制器.
            大口徑射頻離子源 RFICP 380-------------- 離子源自動控制器 --------------   -------- 射頻離子源 RFICP 380 本體 ----

            射頻離子源 RFICP 380 特性
            1. 放電腔 Discharge Chamber, 無需電離燈絲, 通過射頻技術提供高密度離子, 工藝時間更長. 2kW & 1.8 MHz, 射頻自動匹配
            2. 離子源結構模塊化設計
            3. 離子光學, 自對準技術, 準直光束設計, 自動調節技術保障柵極的使用壽命和可重復的工藝運行
            4. 全自動控制器
            5. 離子束動能 100-1200eV

            射頻離子源 RFICP 380 技術規格:

            陽極

            電感耦合等離子體
            2kW & 1.8 MHz
            射頻自動匹配

            最大陽極功率

            >1kW

            最大離子束流

            > 1000mA

            電壓范圍

            100-1500V

            離子束動能

            100-1200eV

            氣體

            Ar, O2, N2,其他

            流量

            5-50sccm

            壓力

            < 0.5mTorr

            離子光學, 自對準

            OptiBeamTM

            離子束柵極

            38cm Φ

            柵極材質

            鉬或石墨

            離子束流形狀

            平行,聚焦,散射

            中和器

            LFN 2000

            高度

            38.1 cm

            直徑

            58.2 cm

            鎖緊安裝法蘭

            12”CF


            射頻離子源 RFICP 380 尺寸:
            射頻離子源尺寸

            大口徑射頻離子源典型應用:
            射頻離子源安裝在 1650 mm 蒸鍍機中, 實現離子輔助鍍膜 IBAD 及預清潔 Pre-clean, 完成 LED-DBR 鍍膜生產
            射頻離子源
            在高倍顯微鏡下檢視脫膜測試
            上海伯東RFICP325脫模測試

            --------- 使用其他品牌離子源---     --------------------- 使用美國 KRI 射頻離子源 ----------------------

            從上圖可以清楚看出, 使用其他品牌離子源, 樣品存在崩邊的問題; 使用上海伯東美國 KRI 射頻離子源, 樣品無崩邊


            1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源, 霍爾離子源射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域, 上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.

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            上海伯東: 葉小姐                                  臺灣伯東: 王小姐
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