Thermonics 超低溫冰水機
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            Thermonics 超低溫冰水機

            Thermonics 超低溫冰水機
            上海伯東美國 inTEST 旗下 Thermonics® 超低溫冰水機, 可以匹配各種熱交換液體媒介, 提供低溫極限 -80°C, -60°C, -40°C 共計 18種標準機型, 低溫冰水機單級壓縮機, 級聯冷卻, 冷凝器水冷或風冷; 可編程的觸摸屏, 支持遠程通訊. 低溫冰水機方便移動操作, 滿足高容量的制冷需求, 適用于汽車, 能源, 工業化學, 半導體等行業.

            Thermonics 超低溫冰水機: 精密溫度控制, 適用于半導體前端和后端的應用, 例如半導體刻蝕設備降溫
            . 最高冷卻功率 15 kW
            . 溫度范圍:  -80 至 200 °C
            . 適合各種熱交換流體
            . 風冷和水冷模式
            . 導熱流體壓力和流量控制
            . ISO 9001 和 ITAR 認證
            . 可編程的觸摸屏
            低溫工藝流體冰水機
            Thermonics 超低溫冰水機, 風冷型

            型號

            溫度范圍
            °C

            精度
            °C

            冷卻能力 kW @ 20°C 供水

            泵抽速
            l/min

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            -80

            A-40-1100

            -40 至 +50

            ±0.5

            6.6

            6.6

            4.0

            1.1

            0.5

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            A-40-1900

            -40 至 +50

            ±0.5

            9.5

            9.5

            5.4

            1.9

            0.7

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            -

            23

            下載 PDF

            A-40-2700

            -40 至 +50

            ±0.5

            14.5

            14.5

            9.6

            2.7

            1.2

            -

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            -

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            下載 PDF

            A-60-2700

            -60 至 +50

            ±0.5

            3.9

            3.9

            3.6

            3.1

            3.0

            2.7

            -

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            11

            下載 PDF

            A-60-3000

            -60 至 +50

            ±0.5

            4.6

            4.6

            3.7

            3.5

            3.4

            3.0

            -

            -

            23

            下載 PDF

            A-60-4600

            -60 至 +50

            ±0.5

            6.7

            6.7

            6.1

            5.3

            5.1

            4.6

            -

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            下載 PDF

            A-80-500

            -80 至 +50

            ±0.5

            2.3

            2.3

            2.2

            2.1

            2.0

            1.8

            1.5

            0.5

            11

            下載 PDF

            A-80-1700

            -80 至 +50

            ±0.5

            3.4

            3.5

            3.1

            2.8

            2.7

            2.3

            2.1

            1.7

            23

            下載 PDF

            A-80-2400

            -80 至 +50

            ±0.5

            5.0

            5.1

            4.5

            3.9

            3.8

            3.3

            3.1

            2.4

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            下載PDF


            Thermonics 超低溫冰水機, 水冷型

            型號

            溫度范圍
            °C

            精度
            °C

            冷卻能力 kW @ 20°C 供水

            泵抽速
            l/min

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            W-40-1100

            -40 至 +50

            ±0.5

            8.0

            8.0

            4.6

            1.1

            0.6

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            -

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            下載 PDF

            W-40-2000

            -40 至 +50

            ±0.5

            10.0

            10.0

            6.0

            2.0

            1.0

            -

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            -

            23

            下載 PDF

            W-40-3100

            -40 至 +50

            ±0.5

            15.5

            15.5

            10.0

            3.1

            1.4

            -

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            下載 PDF

            W-60-2800

            -60 至 +50

            ±0.5

            4.0

            4.0

            3.7

            3.2

            3.1

            2.8

            -

            -

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            下載 PDF

            W-60-3100

            -60 至 +50

            ±0.5

            4.7

            4.7

            4.3

            3.7

            3.6

            3.1

            1.1

            -

            23

            下載 PDF

            W-60-4700

            -60 至 +50

            ±0.5

            6.8

            6.8

            6.2

            5.4

            5.2

            4.7

            4.0

            -

            30

            下載 PDF

            W-80-600

            -80 至 +50

            ±0.5

            2.5

            2.5

            2.3

            2.1

            2.0

            1.8

            1.6

            0.6

            11

            下載 PDF

            W-80-1800

            -80 至 +50

            ±0.5

            3.5

            3.5

            3.2

            2.9

            2.8

            2.4

            2.2

            1.8

            23

            下載 PDF

            W-80-2500

            -80 至 +50

            ±0.5

            5.1

            5.1

            4.5

            4.0

            3.9

            3.4

            3.2

            2.5

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            下載 PDF

            * 所有水冷和風冷型號液體壓力是 50 PSIG 或更少
            * -40 和-60°C 的低溫性能使用 Syltherm XLT 熱傳導液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 熱傳導液
            * 如果需要使用其他類型熱傳導液或流速, 請聯絡上海伯東

            Thermonics 超低溫冰水機典型應用
            1. 半導體行業: 在離子注入機中冷卻硅片夾
            2. 燃料電池能源: 低溫冷卻進入儲罐的廢氣, 從廢氣中冷凝和分離二氧化碳
            3. 科研領域: 在一個壓力容器中, 加熱和冷卻銅塊

            Thermonics® 制冷機主要應用于能源, 化學工藝, 工業和半導體制造, 例如如下:

            制冷機類型

            冷卻方式

            Max.Capacity

            溫度范圍

            導熱介質

            應用市場

            傳導液制冷
            雙極

            水冷

            5kW @ -20°C

            -40 至 25°C    

            Syltherm XLT

            化學

            傳導液制冷
            單極

            水冷

            2.5kW @ -60°C

            -60 至 25°C

            Syltherm XLT

            化學

            傳導液制冷
            單極

            風冷

            270W @ -50°C

            -50 至 120°C

            HFE-7500   

            半導體

            傳導液制冷
            雙極

            風冷

            300W @ -80°C

            -80 至 200°C

            Syltherm XLT

            國防

            傳導液制冷
            雙極

            風冷

            3KW @ -60°C

            -60 至 20°C

            KRYO 60 

            能源

            氣體制冷
            自然復疊

            風冷

            -100 °C @ 8 scfm

            -100 °C至空氣

            清潔,干燥空氣

            工業

            傳導液制冷
            雙極

            水冷

            2.2KW @ 20°C

            -50 至 40 °C

            HFE-7500

            半導體

            傳導液制冷
            單極

            水冷

            12KW @ 15°C

            -15 至 20 °C

            PGW (25%)

            半導體

            氣體制冷
            自然復疊

            風冷

            -90°C @ 18scfm

            -90 至 225 °C

            清潔,干燥空氣

            汽車

            傳導液制冷
            單極

            風冷

            1.5 KW @ -30 °C

            -40 至 50 °C

            Syltherm XLT

            工業

            傳導液制冷
            雙極

            水冷

            3.3KW @ -50°C

            -50 至 20 °C

            Syltherm HF

            汽車


            Thermonics 低溫冰水機原理:
            冰水機 chiller
             

            Thermonics 超低溫冰水機在半導體行業中的應用
            前端 Front End
            離子注入 Ion Implant
            蝕刻設備 Etch: 降溫晶圓,
            沉積設備 Deposition
            后端 Back End
            各種測試處理 Final Test Handlers:
            舉例: Thermonics 冰水機將制冷液體泵入測試設備進行半導體器件的冷態測試, Thermonics 冰水機可與各類半導體測試設備聯用.

            美國 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低溫冰水機和 -120°C 超低溫冰水機用于冷卻工藝過程中的氣體和液體. 型號包含低溫液體冰水機, 超低溫氣體冰水機超低溫液氮, 液態二氧化碳制冷機. Thermonics 低溫冰水機可選水冷或氣冷, 并與各種導熱液體兼容. 滿足各種超低溫工藝冷卻需求, 廣泛應用于化學, 能源, 半導體, 汽車等領域. 上海伯東是美國 Thermonics 超低溫冰水機中國總代理. 

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