HVA 真空閘閥 真空插板閥 71000 系列
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            HVA 真空閘閥 真空插板閥 71000 系列

            HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列
            上海伯東美國 HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列是專為最苛刻的真空環境而設計. HVA 真空閘閥 71000 系列由堅固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側密封的門上雙密封設計, 閥門內部幾乎沒有移動部件, 最大限度減少粒子的生成. 免維護設計(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴酷的應用. 

            HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
            易于系統集成, 幾乎滿足所有應用
            不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護
            真空閘閥堅固的雙重密封設計和低粒子
            使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數
            高壓和機械加工的不銹鋼閥體
            真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
            手動或氣動控制
            標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
            真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
            全部美國設計, 制造, 組裝, 原裝進口

            HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列參數:

             閥門材質:

             - 閥門主體

             304 不銹鋼

             - 焊接波紋管軸封

             AM - 350

             閥門密封方式

             - 高真空

             氟橡膠

             真空:

             - 壓力范圍

             高真空 1x10-9 mbar

             - 漏率

             < 2x10-9  mbar l/S

             - 差壓關閉

             2 bar (任意位置)

             - 開啟前最大壓力

             ≤ 1 bar

             烘烤溫度(不含電磁閥):

             - 佛橡膠密封

             150 °c, 可選配置最大 250 °c

             - 驅動方式

             手動 60 °c, 氣動 60 °c

             - 氣體

             80 psig (5.5 bar)

             - 電磁

             4.0 Watts

             - 供電

             120 VAC 50 /60 Hz

             - 可選電壓

             24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
             或 12, 24 VDC

             - 位置指示器,最大

             115 VAC
             或 28 VDC, 20 mA

             使用壽命: > 250,000  啟閉次數 (具體視實際使用情況決定)

             公稱通徑: DN 50 - 200 mm


            HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列部件圖:
            美國 HVA 真空閘閥71000系列

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