HVA 矩形閥 88200 系列
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            HVA 矩形閥 88200 系列

            HVA 矩形閥 88200 系列

            上海伯東美國 HVA 矩形閥門 28200&88200系列矩形板閥是采用了直連驅動技術的接口閥,可靠使用壽命超過1百萬次。HVA閘板閥專用于真空相關系統,起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小,設計緊湊,可靠應用于生產線與過渡腔室(load-lock chamber),過渡腔室(load-lock chamber)與傳輸系統(handling system),傳輸系統(handling system)與工藝腔室(process chamber)等等,需要分隔真空壓力的地方。

             

            28200&88200系列矩形真空板閥產品特點

            1. 超百萬次可靠運行壽命
            2. 不產生粉末,顆粒,防塵設計
            3. 閥動作平穩,振動和沖擊小
            4. 標準接口,或按客戶要求定制
            5. 閥體材料經過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
            6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下

            28200&88200系列矩形真空板閥技術參數

            連接形式:

            標準或定制法蘭

            主體材料:

            304 不銹鋼/ AM-350

            公稱通徑:

            DN32*222 mm-DN50*336

            DN32*222 mm-DN100*1250

            漏率:

            2x10E-9 AtmCC/Sec

            壓力范圍: 

            1x10E-9 Torr

            烘烤溫度:

            《150℃

            適用介質:

            水、蒸汽、空氣

            密封形式:

            軟密封型

            驅動方式:

            氣動

            使用壽命:

            1000000 啟閉次數

             

            28200&88200系列矩形真空板閥訂貨號及2D & 3D 圖

            DN

            Model

             

             

            mm

            inch

            Number

            J (Bolted Body)

            K (Clamped Body)

            32 x 220

            1.26 x 8.74

            28212-0109RX_

            2D

            3D

            Quote

            2D

            3D

            Quote

            32 x 332

            1.26 x 13.07

            28212-0113RX_

            2D

            3D

            Quote

            2D

            3D

            Quote

            46 x 236

            1.81 x 9.29

            28212-0209RX_

            2D

            3D

            Quote

            2D

            3D

            Quote

            50 x 336

            1.97 x 13.23

            28212-0213RX_

            2D

            3D

            Quote

            2D

            3D

            Quote

             

            28200&88200系列矩形真空板閥部件圖

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