線性霍爾離子源 eH Linear
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            線性霍爾離子源 eH Linear

            KRI 線性霍爾離子源 eH Linear
            上海伯東代理美國原裝進口 KRI  線性離子源使用 eH 400 做為模組, 能應用于寬范圍的襯底, 離子源長度高達 1 米, 通過嚴格調整模組間的距離可以實現最佳的均勻性和離子流. 由于模組是平行放置, 大大簡化了氣體, 功率和電子三者的分布. KRI 線性離子源使用標準的端部霍爾模組并使設備的需求簡化, 一個低成本, 高電流和低能量的離子束可以很好的使用于 web 涂層, in-line 沉積和圓柱旋轉濺射系統.

            霍爾離子源 eH 400 尺寸
            尺寸: 直徑= 3.7“ 高= 3”
            放電電壓 / 電流: 50-300eV / 5A
            操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體

            KRI 霍爾離子源 eH Linear 技術參數

            型號

            eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

            供電

            DC magnetic confinement

              - 電壓

            40-200V VDC

              - 陽極結構

            模塊化

            電源控制

            eHL-30010A

            配置

            -

              - 陰極中和器

            Filamentless

              - 離子束發散角度

            > 45° (hwhm)

              - 陽極

            標準或 Grooved

              - 底座

            移動或快接法蘭

              - 高度

            10 cm

            寬度

            10 cm

              - 長度

            ~ 100cm

              -工藝氣體

            Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

             

            Model

            eHL 200-3

            eHL 200-5

            Height (nominal)

            2.9” (7.4cm)

            2.9” (7.4cm)

            Width (nominal)

            3.3” (8.4cm)

            3.3” (8.4cm)

            Length (nominal)

            Determined by number of modules & application

            Determined by number of modules & application

            Cathode/Neutralizer

            Yes

            Yes

            Anode module

            Yes

            Yes

            Filamentless

            Yes

            Yes

            Orientation

            Vertical / Horizontal

            Vertical / Horizontal

            Process gases

            Inert, reactive, & organic

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            Power controller

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